单晶金属原子级制造研究取得进展
上海技物所开发分步蒸镀技术,以低剂量沉积和停顿交替,促进金属原子有序排列与单晶薄膜生长。
Step-Eva方法通过时间上的分段控制,让沉积原子获得更多扩散与调整机会,从而降低成核密度、促进晶畴横向生长和合并。研究为原位制备单晶金属提供动力学路径,有望帮助探索更有序的电子器件材料体系。
来源核对:中国科学院原始报道 ↗
Step-Eva方法通过时间上的分段控制,让沉积原子获得更多扩散与调整机会,从而降低成核密度、促进晶畴横向生长和合并。研究为原位制备单晶金属提供动力学路径,有望帮助探索更有序的电子器件材料体系。
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